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走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope；SEM）

SU8010

HITACHI

平成25年度納入

【用途の概要】
	コールドFE電子銃とセミインレンズの組み合わせにより、目的に合わせた高コントラスト観察が可能。また、リターディング機能が標準搭載しており、低加速電圧で高分解能・試料最表面の観察ができる装置

【構 成】

走査電子顕微鏡 SU8010　【 HITACHI 】

	【仕　様】
		二次電子分解能	1.0nm（加速電圧 15kV、 WD=4mm）
		倍　率	LOW MAG ×80～5,000（実表示倍率）
			HIGH MAG ×400～2,000,000倍（実表示倍率）
		電子光学系	電子銃 冷陰極電界放出形電子銃
			加速電圧 0.5～30kV (標準モード)
			照射電圧 0.1～2kV (リターディングモード)
			レンズ系 3段電磁レンズ縮小方式
			対物レンズ絞り 可動絞り（加熱タイプ）、真空外より4孔切替、及び微調整可能
			非点補正コイル 8極電磁方式（X,Y）
			走査コイル 2段電磁偏向方式
		試料ステージ	ステージ制御 3軸モータ駆動
			可動範囲 X 　0～50mm
			Y 　0～50mm
			R 　360°
			>T 　-5～70°
			Z 　1.5～30mm
			最大試料サイズ φ100mm（最大）
		ディスプレイ系	画像データ保存 640×480pixel、1,280×960pixel、2,560×1,920pixel、5,120×3,840pixel